Тендер № 282556556: АО «ЗНТЦ» объявляет тендер: Разработка рабочей документации по эскизному проекту в рамках реализации проекта «Разработка установки электронно-лучевой литографии и базовых технологических процессов формирования на фотошаблоне топологических элементов ИС с проектными нормами 150 нм и прямого экспонирования полупроводниковых пластин», шифр «Прогресс ЭЛЛ 150» на производственной площадке, расположенной по адресу: 124527, г. Москва, Зеленоград, Солнечная аллея, дом. 6, строение 3, первый этаж. (Разработка рабочей документации по эскизному проекту в рамках реализации проекта «Разработка установки электронно-лучевой литографии и базовых технологических процессов формирования на фотошаблоне топологических элементов ИС с проектными нормами 150 нм и прямого экспонирования полупроводниковых пластин», шифр «Прогресс ЭЛЛ 150» на производственной площадке, расположенной по адресу: 124527, г. Москва, Зеленоград, Солнечная аллея, дом. 6, строение 3, первый этаж.)
